<blockquote id="ie8mu"><xmp id="ie8mu">
  • <xmp id="ie8mu"><dd id="ie8mu"></dd>
    1. 当前位置 >>  首页 >> 新闻中心 >> 科研进展

    科研进展

    理化所无掩模光学投影超衍射纳米光刻技术研究取得新进展

    稿件来源:仿生智能界面科学中心 发布时间:2021-05-26

      数十年来,光刻作为一种有效的图形转移技术,在实现功能性微纳米尺度结构制备方面一直扮演着重要角色,基于掩模的光刻技术在微电子工业的发展中起着不可或缺的作用。随着器件小型化和集成化,亟需发展高效、灵活的跨尺度微纳结构图案化技术。利用离子束、电子束、激光束等高能束的直写光刻技术,尽管能够实现纳米精度的图案,但是逐点扫描的方式也限制了其在制作跨尺度微纳结构时的效率。作为一种有广阔应用前景的基于数字微镜芯片(DMD)的激光无掩模光刻技术,以光学投影方式可实现大面积、多尺度结构的高效图案化,但由于受到光学衍射极限限制,线宽分辨率难以突破亚微米。  

      中科院理化所仿生智能界面科学中心有机纳米光子学实验室郑美玲研究员团队联合暨南大学段宣明教授团队近日在超快激光远场无掩模投影超衍射纳米光刻技术研究方面取得了新进展。以波长为400 nm的超快激光作为光源,利用DMD生成图案化光场,发展了无掩模光学投影超衍射纳米光刻技术,突破光学衍射极限的限制,获得了仅为激光波长十二分之一(λ/ 12)的32 nm光刻线宽,高效制备了数百微米尺度与纳米尺度并存的跨尺度微纳结构。此外,通过计算机控制更改所需的DMD生成图案化光场,便捷地实现了多种跨尺度微纳结构图案制备,采用简单地重复该过程,还可以实现多样化图形的批量制备。研究成果发表于Nano Letters 2021, 21, 3915-3921DOI: 10.1021/acs.nanolett.1c00559),刘玉环博士为论文第一作者,董贤子副研究员、郑美玲研究员和段宣明教授为共同通讯作者。  

      无掩模光学投影纳米光刻技术原理如图1所示,使用了中心波长为400 nm,重复频率为80 MHz,脉冲宽度为100 fs的飞秒脉冲激光作为光源,DMD用于光场的图案化。将带有图案信息的飞秒激光光束,通过油浸物镜聚焦到非化学放大负光致抗蚀剂(AR-N 7520)中,发生双光子聚合反应,使光刻胶固化实现图案化。研究发现,激光曝光条件对微尺度图案的成形具有重要的影响,论文作者研究了微纳结构特征线宽与加工参数(激光功率、曝光时间与像素数目)之间的关系,通过对大量重复性试验数据的分析及理论建模,明确了微结构特征线宽与加工参数之间的规律,实现了不同特征线宽的可控曝光。在单脉冲功率密度1.40 × 105 W/cm2、曝光时间为1.5 s的条件下,由单像素组成的线阵列可获得32 nm线宽的超衍射聚合物线;在单脉冲功率密度3.65 × 105 W/cm2 、曝光时间为0.6 s时,2×2像素可获得66 nm的超衍射聚合物点(图2)。通过DMD控制数字掩模图案,可以实现整体尺寸为152.5 μm×114.2 μm,含特征尺度为150 nm1像素),314 nm2像素)和610 nm4像素)的跨尺度复杂微纳结构图形(图3)。利用该无掩模光学投影纳米光刻技术,高效、便捷地实现了光波导、微机电系统和微流道等多种复杂跨尺度微纳结构的图案化。 

      无掩模光学投影超衍射纳米光刻技术将可见波长超快激光的非线性光学效应与DMD光场图案化技术结合,实现超越光学衍射限制的远场投影光刻,为跨尺度微纳复杂结构图案化提供了高效、便捷的新技术途径,有望在涉及电子、光学和生物等领域的微纳米器件的研究与开发中得到广泛应用,并实现定制化微纳结构与器件的低成本、高效率、批量制造。论文审稿人评价本技术为“truly groundbreaking”。 

      相关研究工作得到科技部纳米科技重点专项、国家自然科学面上基金项目的大力支持。  

      论文链接:https://pubs.acs.org/doi/10.1021/acs.nanolett.1c00559 

    图1 无掩模光学投影纳米光刻技术原理图

     

    图2 超衍射纳米线与纳米点

     

    图3 跨尺度光刻图形

     

    附件:
    在线高清亚洲精品二区,日韩综合视频第二页,免费大香伊蕉国产91不卡,偷欧洲亚洲另类图片AV天堂 11一一15萝裸体自慰| 欧美老熟妇VIDEOS极品另类| 国产欧美国产综合每日更新| 免费观看女人高潮流视频| 国产重口老太和小伙| 三级网站视频在在线播放| 国产午夜无码片在线观看影院| 18禁美女裸体无遮挡免费观看| 国产高清在线精品一本大道| 亚洲AV无码洁泽明步| 中文乱码免费一区二区三区| 久久久国产99久久国产久一| 五月激激激综合网亚洲| 国模嫣然生殖欣赏337P| 亚洲AV中文无码字幕色最新| 国内精品视这里只有精品| 成 人 黄 色 激 情视频网站| 国产女人高潮叫床免费视频| 亚洲色久悠悠AV在线| 久在线中文字幕亚洲日韩| 人人狠狠综合久久亚洲| 亚洲AV不卡无码国产| japanese精品中国少妇| 国产亚洲欧美日韩在线一区| 伊人精品久久久久中文字幕| 国产成人高清在线观看视频| 午夜老司机在线18勿进| 韩国三级理论无码电影| 国产精品亚洲第一区在线| 色老板在线精品免费视频| BBBBBXXXXX欧美性| 无码少妇一区二区三区| 丁香五月亚洲综合在线国内自拍| 东北色老太BBXX| 日本无吗无卡V免费清高清| 熟女人妇 成熟妇女系列视频| 精品久久久久久久中文字幕| 国产高清在线精品一区免费| 美女张开腿让男人桶爽免费| 免费无码不卡视频在线观看| 欧美老熟妇VIDEOS极品另类| 午夜老司机在线18勿进| 香港经典A毛片免费观看变态| 欧洲多毛裸体XXXXX| 国产亚洲欧美日韩在线一区| 国产午夜无码片在线观看影院| 亚洲AV无码一区二区三区人妖| 欧美大屁股XXXXHD黑色| 中文字幕久久精品无码| 国产L精品国产亚洲区| 少妇张开腿露私下| 尤物久久超碰极品视觉盛宴| 亚洲中文字幕久久无码| 男人靠女人免费视频网站| 欧美FREESEX黑人又粗又大| 人妻丰满av无码久久不卡| 厨房掀起裙子从后面进去| 久久精品国产中国久久| 欧美熟妇A片在线A片视频| 曰本女人牲交全视频播放毛片| 欧美精品九九99久久在免费线| 翘臀熟妇的娇喘后进| 少妇脱了内裤在客厅被视频| 超大乳抖乳露双乳呻吟GIF| 美女张开腿让男人桶爽免费| 欧美另类69XXXXX| 超清无码A片在线观看不卡| 国产精品自在在线午夜免费| 人人妻人人澡人人爽欧美一区| 制服丝袜中文字幕久久| 99精品视频在线观看婷婷| 熟女人妇 成熟妇女系列视频| 噗呲噗呲捣出白沫蜜汁| 成年美女黄网站色视频在线观看| JAPANESE极品少妇| 中国A级毛片免费观看| 亚洲欧美日韩综合在线一| 亚洲AV无码洁泽明步| 富婆推油偷高潮叫嗷嗷叫| 偷拍机场女厕嘘嘘嘘撒尿| 国产高清在线精品一区免费| 欧美另类69XXXXX| 美女裸体无遮挡免费视频害羞网站| 国产午夜无码片在线观看影院| 狠狠色婷婷丁香综合久久韩国电影| 性AV无码天堂VR专区| 亚洲国产精品第一区二区三区| 2021国产麻豆剧传媒| 亚洲精品色婷婷在线影院| 厨房掀起裙子从后面进去| 欧美成人高清WW| 秋霞午夜理论视频在线观看| 最新亚洲人成无码网WWW| 国产亚洲精品线观看不卡 | 黑人巨大精品欧美一区二区| 久久人妻公开中文字幕| 国产人妖视频一区二区| 无码少妇一区二区三区| 国产蝌蚪视频在线观看| 免费观看18禁无遮挡真人| 亚洲精品无码鲁网午夜| 无码专区一va亚洲v专区在线| 无码专区A片在线播放| 最近免费中文字幕大全| 亚洲AV日韩精品久久久久久| japanese精品中国少妇| 扒开女人下面使劲桶| 免费观看日本污污WW网站| 国产热の有码热の无码视频| 亚洲AV不卡无码国产| 秋霞午夜理论视频在线观看| 和五个熟妇双飞| 亚洲精品无码第1页| 18日本XXXXXXXXX视频| 11周岁女全身裸自慰网站| 大屁股人妻女教师撅着屁股| 麻豆一区二区MD| 免费看片AV免费大片| 日本高清二区视频久二区| 欧美高清一区三区在线专区| 成年美女黄网站色视频在线观看| 久久精品国产一区二区三区| 国产作爱激烈叫床视频| 午夜韩国理论片在线观看中字| 国产高潮视频在线观看| 欧美黑人巨大XXXXX| 忘忧草中文字幕资源网| 日本免费网站2021年能用的6| 久久亚洲精品中文字幕| 中文字幕一区二区人妻| 2021在线精品自偷自拍无码| 东北老妇爽的大叫天天看A片| 无满14萝祼体洗澡视频| 欧美成人国产精品视频| 欧洲多毛裸体XXXXX| 未发育孩交VIDEOSSEX| 阳茎进去女人阳道图片| 厨房掀起裙子从后面进去| 亚洲中文字幕久久无码| 国产在线无码制服丝袜无码| 18禁男女污污污午夜网站免费| 日本丰满熟妇VIDEOS| 亚洲手机第一成年网站视频| 韩国三级理论无码电影| 欧美大胆A级视频| 美女裸露双乳给男生吃| 18禁真人抽搐一进一出免费| 一个人看的视频全免费| 精品精品国产理论在线观看| H无码动漫在线观看网站| 黑人与日本少妇JAPANESE| 被体育老师C到高潮| 好男人免费观看视频| 成年片费网站色大全免费观看| 久久天堂综合亚洲伊人HD| 国模国产精品嫩模大尺度视频| 国产午夜无码片在线观看影院| 欧美情侣性视频| 亚洲日本在线在线看片4K超清| 韩国免费A级作爱片在线观看| 亚洲精品色婷婷在线影院| 熟女人妇 成熟妇女系列视频| 小14萝裸体在房间自慰| 一边摸一边桶一边脱免费视频| 免费观看18禁无遮挡真人| 忘忧草在线播放WWW日本韩国| BBBBBXXXXX欧美手机看| 青柠在线观看免费高清视频下载| 国产L精品国产亚洲区| 丰满岳乱妇三级高清| 国模国产精品嫩模大尺度视频| 女人和拘做受全程看| 84PAO国产成视频永久免费| 9420免费观看在线大全| 2021国产麻豆剧传媒| 国内绝对真实医院偷窥短视频| 亚洲欧洲日产国码无码av| 精品熟女少妇A∨免费久久| A级毛片毛片免费观看久潮喷| 成年免费A级毛片免费看| 久在线中文字幕亚洲日韩| 2021午夜理理伦A级毛片| JIZZJIZZ欧美69巨大| 欧美最猛性XXXXX| 国产蝌蚪视频在线观看| 国产精品亚洲第一区在线| 全彩无翼乌无遮挡本子| 免费观看18禁无遮挡真人| 成年免费a级毛片免费看| 337P日本欧洲亚洲大胆张筱雨| 欧美成人免费全部| 免费AV毛片不卡无码| 国产重口老太和小伙| 国产精品自在在线午夜免费| 欧洲少妇性喷潮| 伊人久久大香线蕉亚洲五月天| 中文字幕无码亚洲成A人片| 中文字幕无码无遮挡在线看| 小14萝裸体在房间自慰| 免费观看的成年av网站| G0G0人体国模大胆私拍图片| 18禁美女裸体无遮挡免费观看| 美女张开腿让男人桶爽免费| 免费观看女人高潮流视频| 宝宝好涨水快流出来免费视频| 日本在线视频| 欧美日产欧美日产国产精品| 精品伊人久久久大香线蕉下载| 中文字幕人成乱码熟女| 亚洲欧洲无码一区二区三区| 里番肉片在线播放网站| 好了AV四色综合无码久久| 2021国产麻豆剧传媒| 欧美XXXX做受欧美| 男人女人真曰批的视频| 看国产妓女牲交视频| 少妇高潮叫床在线播放| 国产高清在线精品一区免费| 国内精品久久人妻无码不卡| 超大乳抖乳露双乳呻吟GIF| 黃色A片三級三級三級| 久久WWW免费人成看片| 丁香五月亚洲综合在线国内自拍| 国内精品视这里只有精品| 国产精品亚洲第一区在线| 极品国产主播粉嫩在线| 99久久精品这里只有精品| 18禁真人抽搐一进一出免费| 国产在线无码制服丝袜无码| 11一一15萝裸体自慰| 日韩亚洲AV人人夜夜澡人人爽| 亚洲AV高清在线观看一区二区| 被十几个黑人两根同进| 无码A片| 欧洲少妇性喷潮| 亚洲欧美V国产一区二区三区 | 中国熟妇露脸VIDEOS| 男女真人后进式猛烈QQ动态图| 夫妇当面交换在线播放| 午夜无码电影888不卡| 午夜在线不卡精品国产| A片免费伦费影视在线观看| 狠狠色婷婷丁香综合久久韩国电影| 超大乳抖乳露双乳呻吟GIF| 亚洲色欲色欲天天天网WWW| 白丝班长深夜被啪到娇喘不停| 亚洲日本在线在线看片4K超清| 日本丰满熟妇VIDEOS| 各种折磨调教视频无码| 人人狠狠综合久久亚洲| 亚洲AV无码一区东京热| 亚洲欧洲日产国码无码av| 亚洲精品无码鲁网午夜| 成年免费a级毛片免费看| 色屁屁WWW影院免费观看入口| 啦啦啦免费播放视频在线观看| 亚洲欧美日韩综合在线一| 国产高清在线a视频大全| 免费A级毛片出奶水| 黑人巨大精品欧美一区二区| 国产亚洲精aa在线观看京东| 公交车被CAO得合不拢腿| 国产高清在线精品一区免费| 无码免费大香伊蕉在人线国产| 一个人的免费HD完整版| 成年片费网站色大全免费观看| 少妇无码精品12P| BBBBBXXXXX欧美性| 国产微拍精品一区二区| 少妇泬出白浆18P| 呻吟求饶的办公室人妻| 啊灬啊别停灬用力啊在线观看视频| 亚洲色久悠悠AV在线| 99精品视频在线观看婷婷| 少妇群交换BD高清国语版| 欧美成人国产精品视频| 全免费A级毛片免费看| 亚洲同志GV钙片在线观看| 亚洲H成年动漫在线观看网站| 色屁屁WWW影院免费观看入口| 亚洲鲁丝片AV无码| 国产亚洲欧美日韩在线一区| 一边摸一边桶一边脱免费视频| 国产丰满乱子伦无码专区| 亚洲欧洲无码一区二区三区| 精品伊人久久久大香线蕉?| 黑人巨大精品欧美一区二区| 国语憿情少妇无码av| 色综合色欲色综合色综合色综合| BBBBBXXXXX欧美性| 精品熟女少妇A∨免费久久| 日本无吗无卡V免费清高清| 亚洲人成无码网WWW电影| 亚洲欧美日韩国产综合一区二区| 女教师高潮抽搐潮喷视频| 免费观看日本污污WW网站| 亚洲AV无码一区二区二三区| 欧美色精品视频在线观看九| 欧美最猛性XXXXX| 精品熟女少妇A∨免费久久| 国产成人无码免费视频97| 少妇群交换BD高清国语版| 国产精品无码素人福利| H无码动漫在线观看不卡| A级毛片无码免费真人久久| 最爽爱爱高潮免费视频| JAPANESE极品少妇| 极品国产主播粉嫩在线| 一边摸一边桶一边脱免费视频| 亚洲欧美日韩中文无线码| H无码动漫在线观看不卡| 亚洲AV无码一区二区二三区| 最好看的日本字幕2019| 国产熟睡乱子伦视频| 欧美成人免费全部网站| 屁屁国产第1页草草影院| 最爽的乱惀另类| 亚洲不卡AV一区二区三区| 男女猛烈XX00动态图| 国产欧美国产综合每日更新| JAPANESE21HDXXXX无码| 啦啦啦免费播放视频在线观看| 成年免费A级毛片免费看| 好紧我太爽了视频免费国产| jk女高中制服白丝裤袜自慰| 亚洲国产精品第一区二区三区| 艳娒全集在线观看播放| 中文字幕欲求不满的熟妇| 精品视频在线观看自拍自拍| 老女人下面毛荫荫的黑森林| 日本视频高清免费观看| 免费AV毛片不卡无码| 成·人免费午夜视频69影院| 亚洲欧美日韩精品久久| 一本无码人妻在中文字幕| 超大乳抖乳露双乳呻吟GIF| 免费观看的成年av网站| 最新亚洲人成无码网WWW| 国产精品99久久99久久久不卡| 中文字幕无码无遮挡在线看| 性无码专区一色吊丝中文字幕| 老师洗澡让我吃她胸视频| 欧美video性欧美熟妇| 欧美日韩一区二区综合| 国产人妖视频一区二区| BBBBBXXXXX欧美手机看| 免费观看女人高潮流视频| JAPAN丰满人妻VIDEOS| A级毛片无码免费真人久久| 亚洲精品456在线播放| 欧美日韩一区二区综合| 亚洲精品色婷婷在线影院| 在浴室强奷校花腿让人桶| 亚洲AV不卡无码国产| 国产出租屋普通话露脸视频| 少妇人妻偷人精品视频| 亚洲人成无码网WWW电影| 一个人看的视频全免费| 免费A级毛片无码A∨中文字幕| 三级网站视频在在线播放| 成年女人看片永久免费视频| 99精品视频在线观看婷婷| 亚洲欧美日韩国产综合一区二区| 最新一卡二卡三卡四卡免费看| 公交车爽到疯狂潮喷小说| 成年免费a级毛片免费看| 真人做爰到高潮视频18禁| 亚洲日韩成人精品不卡在线| 亚洲色欲色欲天天天网WWW| 少妇无码精品12P| 手机看片久久国产免费| 五十老熟妇乱子伦免费观看| 中文字幕一二三区2021| 国产成人无码免费视频97| 翘臀熟妇的娇喘后进| 中文字幕在线中文乱码不卡24| 少妇脱了内裤在客厅被视频| 久久久国产99久久国产久一| 少妇性俱乐部纵欲狂欢电影| 精品福利视频一区二区三区| 两女互摸自慰喷水爽哭直播| 成年免费a级毛片免费看| 国产作爱激烈叫床视频| 哒哒哒电影免费完整版| 亚洲人成无码网WWW电影| 国产成人亚洲综合无码18禁| JIZZJIZZ欧美69巨大| 亚洲人成无码网WWW电影| 日韩精品无码视频免费专区| 成年女人看片永久免费视频| 禁止18点击进入在线看片尤物| K频道国产欧美日韩精品二区| 男人靠女人免费视频网站| 欧美情侣性视频| 最清晰女厕偷拍的NOE| 激情欧美成人小说在线视频| 2021在线精品自偷自拍无码| 一个人HD高清在线观看| 国产微拍精品一区二区| 国产重口老太和小伙| 欧美牲交欧美牲交AⅤ| 国自产拍AV在线天天更新| 夜夜春宵翁熄性放纵30| 成年美女黄网站色视频在线观看| 一本到无码专区av无码| 欧美大胆A级视频| 亚洲手机第一成年网站视频| 国产欧美亚洲精品| 精品福利视频一区二区三区| 老师洗澡让我吃她胸视频| 超大乳抖乳露双乳呻吟GIF| 中文乱码免费一区二区三区| 亚洲欧美V国产一区二区三区 | 夜夜偷天天爽夜夜爱| 色欲人妻综合网| 女同桌的白丝夹我好爽| 亚洲А∨天堂久久精品| jk女高中制服白丝裤袜自慰| 秋霞鲁丝片无码AV| 国产精品偷窥盗摄偷看| 亚洲国产日韩欧美一区二区三区| JAPAN丰满人妻VIDEOS| 大屁股人妻女教师撅着屁股| 欧美成人免费全部网站| 精品视频在线观看自拍自拍| 免费人成小说在线观看网站| 啦啦啦www在线观看视频播放| 私人毛片免费高清影视院| 永久免费无码日韩视频| 屁屁国产第1页草草影院| 18日本XXXXXXXXX视频| JIZZJIZZ欧美69巨大| 刺激chinese乱叫videos| 女教师高潮抽搐潮喷视频| 亚洲手机第一成年网站视频| 少妇张开腿露私下| 男人添女人下部全视频| 东北老妇爽的大叫天天看A片| 男女猛烈XX00动态图| 成年女人看片永久免费视频| 国产性生大片免费观看性| 亚洲中文字幕久久无码| 夜夜春宵翁熄性放纵30| 无码欧美人XXXXX在线观看| 精品久久久久久久中文字幕| 欧美成人免费全部网站| 荷兰美女熟妇O'|DWEN| 里番肉片在线播放网站| A片免费伦费影视在线观看| 人妻中文字系列无码专区| 性AV无码天堂VR专区| 日本妇人成熟A片免费观看| 日本免费网站2021年能用的6| 美女张开腿让男人桶爽免费| 噗呲噗呲捣出白沫蜜汁| 三级网站视频在在线播放| 黃色A片三級三級三級| 亚洲无线码高清在线观看| 女同桌的白丝夹我好爽| 免费观看18禁无遮挡真人| 中文字幕在线中文乱码不卡24| 一边摸一边桶一边脱免费视频| 成年女人看A片免费视频| 欧美激情性A片在线观看| 无码人妻一区二区三区免费| 亚洲中文字幕久久无码| 免费观看女人与狥交| 大狼拘与人牲交| 里番肉片在线播放网站| 欧美日韩精品一区二区在线观看| 精品伊人久久久大香线蕉下载| 亚洲丁香五月天缴情综合| 男人扒开女人双腿猛进女人| 男人狂躁进女人下面视频| 欧美牲交A欧美牲交AⅤ久久| 屁屁国产第1页草草影院| 女人和公拘配种女人视频| 亚洲А∨天堂久久精品| 色噜噜亚洲男人的天堂WWW| 真人做爰到高潮视频18禁| 未发育孩交VIDEOSSEX| FREEXXXX性特大另类| CHINESE白袜喷浆XNXX| 亚洲AV不卡无码国产| 久久亚洲精品中文字幕| 日本XXXX厕所偷窥| 国产综合色香蕉精品五夜婷| 亚欧美日韩香蕉在线播放视频| 国产丝袜在线精品丝袜不卡| 超大乳抖乳露双乳呻吟GIF| 超清无码A片在线观看不卡| 最近免费中文字幕大全| 亚洲精品456在线播放| 中国熟妇人妻XXXXX| 国产丰满乱子伦无码专区| 人人狠狠综合久久亚洲| 亚洲AV高清在线观看一区二区| 印度毛片女人与禽交| 黃色A片三級三級三級| 99精品视频在线观看婷婷| 欧美成人免费全部| 日本妇人成熟A片一区| AV无码欧洲亚洲电影网|